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压电惯性电机
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惯性电机
惯性电机
惯性电机
主要特点

  • 高速位移
  • 高分辨率
  • 体积小巧
  • 应用高真空环境

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主要应用
  • 光学平台
  • 精密半导体设备
  • 精密医疗检测设备
  • 航空航天
性能简介

PMIN系列惯性电机是基于粘滑式驱动逻辑的一种直线运动定位装置,可以达到毫米级的运动行程和纳米级的定位精度,具有体积小、刚度高和快速定位等优势,电机内部集成高精度闭环传感器,非常适合用于纳米微位移控制系统。

机械尺寸图

技术参数
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单位

公差

PMIN-C24-20A

PMIN-C24-30A-SS

PMIN-C24-30A-AL

运动轴

 

 

X

X

X

运动和定位

 

 

 

 

 

运动行程

mm

 

20

30(非对称)

30(非对称)

传感器

 

 

线性光栅尺

开环分辨率

nm

 

1

1

1

传感器分辨率

nm

 

40

40

40

传感器信号

 

 

AqB

AqB

AqB

最小位移

nm

典型值

-

-

-

单向重复精度

nm

典型值

500

500

500

双向重复精度

nm

典型值

800

1000

1000

俯仰

arcsec

典型值

50

50

50

偏摆

arcsec

典型值

50

50

50

闭环运动速度*

mm/s

最大值

10

10

10

机械特性

 

 

 

 

 

最大垂向负载

N

最大值

30

30

30

导轨类型

 

 

交叉滚柱导轨

驱动力

N

典型值

>1.5 >1.5 >1.2

保持力

N

最小值

>2.0 >2.0 >2.0

驱动特性

 

 

 

 

 

工作电压

V

 

0~70

0~70

0~70

其他

工作温度范围

°C

 

0~50

0~50

0~50

材料

 

 

不锈钢                                                  不锈钢                                                    铝合金,不锈钢

电缆长度

m

±0.02m

2

2

2

电机接口

 

 

Sub-D15 公头

外观尺寸

 

 

 

A

mm

 

24

24

24

B

mm

 

11.5

11.5

11.5

L

mm

 

45

45

45

* 实际运动速度取决于驱控电路功率

 

单位

公差

PMIN-C24-50A-SS

PMIN-C24-50A-AL

PMIN-C24-110A

运动轴

 

 

X

X

X

运动和定位

 

 

 

 

 

运动行程

mm

 

50

50

110

传感器

 

 

线性光栅尺

开环分辨率

nm

 

1

1

1

传感器分辨率

nm

 

40

40

40

传感器信号

 

 

AqB

AqB

AqB

最小位移

nm

典型值

-

-

-

单向重复精度

nm

典型值

500

500

500

双向重复精度

nm

典型值

800

800

800

俯仰

arcsec

典型值

50

50

50

偏摆

arcsec

典型值

50

50

50

闭环运动速度*

mm/s

最大值

10

10

10

机械特性

 

 

 

 

 

最大垂向负载

N

最大值

30

30

30

导轨类型

 

 

交叉滚柱导轨

驱动力

N

典型值

>1.5 >1.5 >1.2

保持力

N

最小值

>2.0 >2.0 >2.0

驱动特性

 

 

 

 

 

工作电压

V

 

0~70

0~70

0~70

其他

工作温度范围

°C

 

0~50

0~50

0~50

材料

 

 

不锈钢                                                      铝合金,不锈钢                                          铝合金,不锈钢

电缆长度

m

±0.02m

2

2

2

电机接口

 

 

Sub-D15 公头

外观尺寸

 

 

 

A

mm

 

24

24

24

B

mm

 

11.5

11.5

11.5

L

mm

 

75

75

180

* 实际运动速度取决于驱控电路功率

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