电子束检测、电子束光刻、扫描电镜
高真空精密二维位移台采用了符合超高真空标准的材料和IS06洁净室中的特殊工艺制造，确保可适用于10-5Pa及以下超高真空环境。在实现高精度、高刚度XY运动的同时，还保证了真空环境下的热管理与磁屏蔽需求。
*接口尺寸数据来源于VLS200
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技术指标 |
单位 |
VLS200-08 |
VLS200-12 |
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轴 |
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X |
Y |
X |
Y |
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行程 |
mm |
300 |
220 |
400 |
320 |
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最大速度 |
m/s |
0.35 |
0.35 |
0.35 |
0.35 |
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加速度 |
g |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
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精度 |
μm |
±0.15 |
±0.15 |
±0.35 |
±0.85 |
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双向重复精度 |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
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位置稳定性（3σ） |
nm |
±5 |
±5 |
±2 |
±2 |
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速度波动 |
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<0.1% |
<0.1% |
<0.1% |
<0.1% |
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直线度 |
μm |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
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俯仰 |
arcsec |
<15 |
<15 |
<20 |
<20 |
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偏摆 |
arcsec |
<10 |
<10 |
<10 |
<10 |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
Kg |
52 |
7 |
53.5 |
9 |
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最大负载 |
Kg |
13.5 |
13.5 |
13.5 |
13.5 |
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平台质量 |
Kg |
100 |
100 |
145 |
145 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
670×630×200 |
810×714×200 |
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平台材料 |
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铝合金 |
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*非主动减振环境下的测试数据。
在真空产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、控制系统等选项。
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表 1 导轨选项 |
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-Gl |
常规真空导轨 |
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-G2 |
无磁真空导轨 |
