上海隐冠半导体技术有限公司

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单片型多层共烧压电致动器
单片型压电陶瓷致动器
单片型压电陶瓷致动器
单片型压电陶瓷致动器
主要特点

  • 交流寿命10⁹次     
  • 驱动电压 -20 ~ +150V
  • 微秒级响应     
  • 适用于高真空环境10⁻⁶ Pa 
  • 亚纳米分辨率     
  • 高居里温度230°C

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主要应用
  • 工业自动化 
  • 生命科学 
  • 科学研究    
  • 半导体设备
  • 光学调整
性能简介

单片型压电陶瓷致动器内部有很多陶瓷层及电极层,相互交叉叠堆,外部两侧印刷电极,将内部电极引出。通过精密打磨工艺,使每片压电陶瓷的高度公差优于±5um。公司实现了从压电陶瓷粉料到致动器成品 的全流通贯通,已实行批量化生产。目前产品已经在纳米级定位、精密制造、点胶阀领域中应用。

技术参数
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尺寸A×B×H / Dimensions

位移*/ Displacement 

阻滞力 **/ Blocking force

电容***/Electrical capacitance

谐振频率 / Resonant frequency

单位

mm×mm×mm

μm

N

nF

kHz

公差

 

±15%

最大值

±15%

±15%

PAA - S2 - 2

2×2×2

2.5

160

22

565

PAA - S3 - 2

3×3×2

2.5

350

60

475

PAA - S5 - 2

5×5×2

2.5

1000

170

320

PAA - S7 - 2

7×7×2

2.5

1960

390

235

PAA - S7M - 2

7×7×2

3

1960

610

235

PAA - S10 - 2

10×10×2

2.5

3900

800

165

 

*位移测试:驱动电压0~150V,另PAA-S7M-2驱动电压0-120V
**阻滞力测试:在150v驱动电压下,将陶瓷伸长量压缩为零的力 
***电容测试条件:常温环境,1Vpp/1kHz 
尺寸A*B公差为0.1mm,H公差为±0.01mm 
压电陶瓷片默认不焊接线束 
可选配焊接标准线束,长度75mm, AWG32, PTFE绝缘,产品编号后加W 
其他规格可根据客户需求进行定制

型号解读
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定制信息
  • 驱动电压:隐冠可以灵活地定制器件的最大驱动电压,提供的最大驱动电压常见可选范围为 50V/75V/100V/120V/150V,其他特殊的最大驱动电压也可根据客户需求灵活定制;对于消费电子类产品,特别开发了超低驱动电压的产品,驱动电压可低至 3V、10V 和 24V。

  • 输出位移:隐冠采用特殊开发的压电陶瓷材料,单片型致动器最大位移量可达 3.5μm。

  • 工作频率:隐冠可以根据客户需求灵活设计,单片致动器最高驱动频率可以达到 50kHz。

  • 外形尺寸:单片型致动器外形尺寸可以灵活定制,长宽方面支持最小 0.8mm 定制,最大支持 10mm 定制;高度方向最小支持 1mm 定制,最大支持 3mm 定制。

  • 焊接线束:在满足 AWG 使用标准的情况下,可选配线束。线束长度常规为 7.5cm 镀锡线,线束长度和朝向也可根据客户需求灵活定制;为方便正负电极线的连接,在性能变化的误差内,可选择焊点位置。


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性能图

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