吸盘采用轻量化设计，并采用和硅材料热膨胀系数相近材料：无压烧结碳化硅，渗硅碳化硅，氮化硅和氮化铝等。吸盘具备高刚度，高导热，低热膨胀，稳定性高等特点，另外，还具备高纯度，晶粒大小均匀等特性，如此可有效的减少Particle以及化学清洗的污染问题，延长使用寿命。
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数据 |
单位 |
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平面度 |
0.5 |
μm |
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适用规格 |
6/8' 12' 8/12' |
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表面特征 |
pin type, ring type |
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Pin高度 |
0.05-0.2 |
mm |
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Pin直径(最小) |
Φ0.2 |
mm |
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Pin间距(最小) |
3 |
mm |
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密环宽度(最小) |
0.7 |
mm |
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表面粗糙度 |
Ra 0.02 |
μm |
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厚度公差 |
±0.01 |
mm |
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直径公差 |
±0.01 |
mm |
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平行度公差 |
≤3 |
μm |
