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压电预压致动器
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A5型压电预压致动器
A5型压电预压致动器
A5型压电预压致动器
主要特点

  • 1000N推力
  • 10亿次使用寿命的压电陶瓷
  • 亚纳米级分辨率
  • 结构简单,体积小巧    
  • 适用高真空环境10⁻⁵Pa

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主要应用
  • 静态和动态精密定位
  • 光纤定位调节
  • 激光调谐    
  • 微纳技术
性能简介

预压致动器是一种压电陶瓷叠堆的铠装设备,起到保护叠堆和方便安装的作用,同时预压致动器内部对压电陶瓷施加了预压力,可提供一定的拉力和对位移输出的调节。预压致动器可内部集成应变片实现闭环控制。

机械尺寸图

默认输出端为球头,可定制其他输出端结构。

 

技术参数
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PAPL - A5 - 36N

PAPL - A5 - 45N

PAPL - A5 - 60N

PAPL - A5 - 90N

单位

公差

行程 @150V*

40

50

65

100

μm

±20%

电容**

3

3.8

5

7.5

μF

±20%

开环分辨率

0.36

0.45

0.6

0.9

nm

典型值

集成传感器

 

 

SGS

 

 

/

闭环分辨率***

0.72

0.9

1.2

1.8

nm

典型值

谐振频率

12

10

7

4

kHz

±20%

刚度

20

17

12

8

N/μm

±20%

推力****

850

850

850

850

N

最大值

拉力

150

150

150

150

N

最大值

工作电压

-20~150

V

/

工作温度范围

-20~80

°C

/

电压接口

LEMO FFA.00.250

 

/

传感器接口

LEMO FFA.0S.304

 

/

线长

1.5

m

±0.02

 

* 空载下位移输出
** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz
*** 闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器
**** 推力测试:驱动电压0~150V
其他规格可根据客户需求进行定制

型号解读
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定制信息

PAPL系列A5型压电预压致动器,开环版本

型号

说明

PAPL-A5-36N

A5型压电预压致动器,有效行程40μm,开环

PAPL-A5-45N

A5型压电预压致动器,有效行程50μm,开环

PAPL-A5-60N

A5型压电预压致动器,有效行程65μm,开环

PAPL-A5-90N

A5型压电预压致动器,有效行程100μm,开环

 

PAPL系列A5型压电预压致动器,应变片闭环版本

型号

说明

PAPL-A5-36S

A5型压电预压致动器,有效行程40μm,应变片闭环

PAPL-A5-45S

A5型压电预压致动器,有效行程50μm,应变片闭环

PAPL-A5-60S

A5型压电预压致动器,有效行程65μm,应变片闭环

PAPL-A5-90S

A5型压电预压致动器,有效行程100μm,应变片闭环

 

PAPL系列A5型压电预压致动器,开环、真空兼容版本

型号

说明

PAPL-A5-36NU

A5型压电预压致动器,有效行程40μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-A5-45NU

A5型压电预压致动器,有效行程50μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-A5-60NU

A5型压电预压致动器,有效行程65μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-A5-90NU

A5型压电预压致动器,有效行程100μm,开环,真空兼容至10⁻⁵Pa

 

PAPL系列A5型压电预压致动器,应变片闭环、真空兼容版本

型号

说明

PAPL-A5-36SU

A5型压电预压致动器,有效行程40μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-A5-45SU

A5型压电预压致动器,有效行程50μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-A5-60SU

A5型压电预压致动器,有效行程65μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

PAPL-A5-90SU

A5型压电预压致动器,有效行程100μm,应变片闭环,真空兼容至10⁻⁵Pa

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