半导体设备和激光领域
PART100精密气浮转台高精度的回转精度，提供超平稳的运动，角秒级别的精度和绝对重复性；高超的制造水平，保证了气浮轴承的质量和稳定性；轻质化设计，产品重量轻，更便于集成。
*接口尺寸数据来源于PART100
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技术指标 |
单位 |
PART100 |
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台面直径 |
mm |
100 |
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高度 |
mm |
95 |
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中空尺寸 |
mm |
25 |
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最大转速 |
rpm |
600rpm@48V |
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峰值扭矩 |
N·m |
3.9 |
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连续扭矩 |
N·m |
3.2 |
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精度 |
arcsec |
±1.5 |
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双向重复精度 |
arcsec |
±1 |
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最大负载_轴向 |
Kg |
53 |
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最大负载_径向 |
Kg |
17 |
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轴向误差运动(同步) |
nm |
<100 |
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径向误差运动(同步) |
nm |
<200 |
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倾斜误差(同步) |
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<2.5µrad(0.5arcsec) |
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工作气压 |
Mpa |
0.5 |
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耗气量 |
L/min |
<25 |
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总质量 |
Kg |
4 |
＊精度检测转速为60rpm检测标准为GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000,环境温度为22°±0.5℃
