激光切割、半导体、平板显示、自动化
单轴精密位移台采用了紧凑扁平的设计思想，能实现水平向高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于LTS165
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技术指标 |
单位 |
LTS165-100 |
LTS165-200 |
LTS165-300 |
LTS165-400 |
LTS165-500 |
LTS165-600 |
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行程 |
mm |
100mm |
200mm |
300mm |
400mm |
500mm |
600mm |
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最大速度 |
m/s |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
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加速度 |
g |
3g |
3g |
3g |
3g |
3g |
3g |
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精度 |
μm |
±1 |
±1.5 |
±1.5 |
±1.5 |
±2 |
±2 |
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双向重复精度 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
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直线度 |
μm |
±2.5 |
±4 |
±6 |
±8 |
±9 |
±10 |
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俯仰 |
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29μrad (6arcsec) |
40μrad |
58μrad |
70μrad |
80μrad |
90μrad |
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横滚 |
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29μrad |
40μrad |
58μrad |
70μrad |
80μrad |
90μrad |
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偏摆 |
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29μrad |
40μrad |
58μrad |
70μrad |
80μrad |
90μrad |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
Kg |
2.9 |
2.9 |
2.9 |
2.9 |
2.9 |
2.9 |
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最大负载 |
Kg |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
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平台质量 |
Kg |
9.1 |
10.8 |
12.5 |
14.2 |
15.8 |
17.5 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
396×245×99.5 |
496×245×99.5 |
596×245×99.5 |
696×245×99.5 |
796×245×99.5 |
896×245×99.5 |
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平台材料 |
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航空铝，黑色阳极氧 |
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在LTS165系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器等选项。
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表1行程选项 |
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-100 |
105mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-200 |
205mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-300 |
305mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-400 |
405mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-500 |
505mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-600 |
605mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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表2编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
