高真空精密二维位移台采用了符合超高真空标准的材料和IS06洁净室中的特殊工艺制造，确保可适用于10-5Pa及以下(超)高真空环境。在实现高精度、高刚度XY运动的同时，还保证了真空环境下的热管理与磁屏蔽需求。
*接口尺寸数据来源于VLS200
|
技术指标 |
单位 |
VLS200-08 |
VLS200-12 |
||
|
轴 |
|
X |
Y |
X |
Y |
|
行程 |
mm |
300 |
220 |
400 |
320 |
|
最大速度 |
m/s |
0.35 |
0.35 |
0.35 |
0.35 |
|
加速度 |
g |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
0.4 |
|
精度 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
双向重复精度 |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
|
位置稳定性（3σ） |
nm |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
|
速度波动 |
|
<0.1% |
<0.1% |
<0.1% |
<0.1% |
|
直线度 |
μm |
4 |
4 |
4 |
4 |
|
俯仰 |
arcsec |
<10 |
<10 |
<10 |
<10 |
|
偏摆 |
arcsec |
<10 |
<10 |
<10 |
<10 |
|
机械特征 |
|
|
|
|
|
|
驱动负载（无负载） |
Kg |
52 |
7 |
53.5 |
9 |
|
最大负载 |
Kg |
13.5 |
13.5 |
13.5 |
13.5 |
|
平台质量 |
Kg |
100 |
100 |
145 |
145 |
|
外观尺寸 |
mm×mm×mm |
670×630×200 |
810×714×200 |
||
|
平台材料 |
|
铝合金 |
|
||
*非主动减振环境下的测试数据。
在真空产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、控制系统等选项。
|
表 1 导轨选项 |
|
|
-G1 |
常规真空导轨 |
|
-G2 |
无磁真空导轨 |
