半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等，特别适用于双面加工或者基因检测等领域
中空式平面二维精密位移台采用了XY一体化、正交性设计思想，具有超薄的轮廓尺寸和大中空的通孔尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于PLA90
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参数 |
PLA90 - 100 |
PLA90 - 200 |
PLA90 - 300 |
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行程 |
±50mm |
±100mm |
±150mm |
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最大速度 |
0.3m/s |
0.5m/s |
0.5m/s |
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加速度 |
0.4g |
0.4g |
0.4g |
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精度 |
±1.5μm |
±2μm |
±2μm |
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双向重复精度 |
未明确 |
±0.5μm |
未明确 |
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直线度 |
±2μm |
±3μm |
±5μm |
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平面度 |
±2μm |
±3μm |
±5μm |
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俯仰 |
±15arcsec |
±20arcsec |
±25arcsec |
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横滚 |
±15arcsec |
±20arcsec |
±25arcsec |
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偏摆 |
±15arcsec |
±20arcsec |
±25arcsec |
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正交性 |
12arcsec |
15arcsec |
20arcsec |
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驱动质量_Upper axis |
5.8kg |
8.4kg |
11kg |
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驱动质量_Lower axis |
14.5kg |
17.1kg |
19.7kg |
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最大负载 |
10kg |
10kg |
10kg |
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平台质量 |
21kg |
25.5kg |
30kg |
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外观尺寸 |
380mm×380mm×90mm |
380mm×380mm×90mm |
430mm×430mm×90mm |
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平台材料 |
航空铝，黑色阳极氧化 |
航空铝，黑色阳极氧化 |
航空铝，黑色阳极氧化 |
在PLA90系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。
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表1行程选项 |
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-100 |
100mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-200 |
200mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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-300 |
300mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
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表2编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
