PAPL-C001型压电致动器是一种精密的陶瓷驱动器，它能将电能直接转换成线性运动，具有分辨率高、驱动力大等特点。该驱动器可广泛应用于半导体设备、医疗设备等领域。
默认输出端为平推头，可定制其他输出端结构。
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PAPL-C001 |
单位 |
公差 |
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行程@150V* |
60 |
μm |
15% |
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电容** |
6.2 |
μF |
15% |
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开环分辨率 |
0.06 |
nm |
/ |
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集成传感器*** |
/ |
/ |
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谐振频率 |
11 |
kHz |
15% |
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刚度 |
8.5 |
N/μm |
15% |
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推力**** |
1000 |
N |
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拉力 |
150 |
N |
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工作电压 |
-20~150 |
V |
/ |
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工作温度 |
-20~80 |
℃ |
/ |
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电压接口 |
LEMO 00.250 |
/ |
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线长 |
1.5 |
m |
0.5% |
* 空载下位移输出；
** 电容测试条件：常温环境，500mVpp，1kHz；
*** 参数只适用开环版本的压电预压致动器；
**** 推力测试：驱动电压0~150V。
其他规格可根据客户需求进行定制。
PAPL系列C001型预压致动器，开环版本
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型号 |
说明 |
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PAPL-C001 |
C001型压电预压致动器，有效行程60μm，开环，无磁，可适应高真空环境 |
