晶圆工序控制，晶圆切片、晶圆划线、激光热处理、光伏电池生产
精密机械转台采用了扁平的设计思想，能实现旋转方向高精度、高刚度无限制运动。
*接口尺寸数据来源于RD180
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技术指标 |
单位 |
RD180-00 |
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精度_校准前* |
arcsec |
±30 |
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精度_校准后* |
arcsec |
±3 |
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双向重复精度* |
arcsec |
±2 |
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轴向跳动 |
μm |
±3 |
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径向跳动 |
μm |
±3.5 |
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倾斜误差 |
arcsec |
10 |
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连续扭矩 |
N·m |
2.4 |
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最大转速 |
rpm |
150 |
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位置稳定性（3σ）* |
arcsec |
±0.072 |
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Move1: 1 deg within±40μdeg* |
ms |
100 |
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Move2: 180 deg within±40μdeg* |
ms |
500 |
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机械特征 |
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外观尺寸 |
mm×mm |
284×284 |
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最大负载_轴向 |
Kg |
7 |
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最大负载_径向 |
Kg |
3 |
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转动惯量 |
Kg•m² |
0.00038 |
*测试数据来源于采用20μmpitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
在RD180系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、Chuck 供气路数、控制系统等选项。
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表1编码器选项 |
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-S1 |
标准款，Renishaw编码器 |
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-S2 |
高端款，Heidenhain编码器 |
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表2 Chuck供气选项 |
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-C1 |
Chuck单气路供气 |
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-C2 |
Chuck双气路供气 |
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-C3 |
Chuck三气路供气 |
