前道应用，优先于光刻后段和晶圆生产控制
多轴精密对位平台拥有4个自由度，提供364°的旋转角，双Z轴，其中一个用于晶圆装件与卸件的粗大调整， 一个用于调焦的精密调整，以及±0.2°以上的tip 和 tilt修正。该Z3T110模块为运动提供更优的跟随误差控制性能，其重复精度、运动和稳定时间性能均支持更大行程运动。
*接口尺寸数据来源于Z3T110，且垂向处于中间位。
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单位 |
Z3T110-24 |
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轴 |
- |
Fine Z |
Tip-Tilt |
Coarse Z |
T |
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行程 |
- |
±2 mm |
±0.2° |
±5 mm |
364° |
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最大速度 |
- |
0.1 m/s |
- |
0.1 m/s |
10 rad/s |
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加速度 |
- |
1 m/s^2 |
- |
- |
55 rad/s^2 |
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精度_校准前 |
- |
- |
- |
±10μm |
±10 arcsec |
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精度_校准后 |
- |
±0.02 μm |
- |
- |
±0.75 arcsec |
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双向重复精度 |
- |
±0.01 μm |
- |
- |
±0.35 arcsec |
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位置稳定性（3σ） |
- |
±15 nm |
±0.04 arcsec |
- |
±0.0038 arcsec |
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径向跳动 |
- |
NA |
NA |
NA |
±1.25μm |
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轴向跳动 |
- |
NA |
NA |
NA |
±1.25μm |
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偏摆 |
- |
±0.5 arcsec |
- |
- |
- |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
Kg |
6.2 |
6.2 |
0.5 |
3.2 |
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最大负载 |
Kg |
2.5（可定制） |
2.5（可定制） |
2.5（可定制） |
2.5（可定制） |
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平台质量 |
Kg |
15 |
15 |
15 |
15 |
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外观尺寸 |
mm×mm |
S259.5×115.5（垂向处于行程中间位） |
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在Z3T110-24 产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、CoarseZ 行程、控制系统等选项。
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表1编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器,BISS |
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表2行程选项 |
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-10 |
Coarse Z有效行程10mm |
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-15 |
Coarse Z有效行程15mm |
