前道应用，优先于光刻后段和晶圆生产控制
多轴精密对位平台拥有四个各自独立的自由度，包括一个旋转轴、 一个垂直轴及两个摇摆和倾斜修正轴。该Z3T70模块结构非常紧凑，且具备优异的定位精度和动态特性。Z3T70不仅为用户提高运动系统精度，简化设计难度，还能显著提升设备的可靠性和集成度，降低设备的复杂性和总体成本，提高性价比。
*接口尺寸数据来源于Z3T70，且行程处于中间位。
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单位 |
Z3T70-04 |
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轴 |
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Fine Z |
Tip-Tilt |
T |
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行程 |
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±2 mm |
±0.2° |
360°,Infinite |
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最大速度 |
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0.1 m/s |
- |
10 rad/s |
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加速度 |
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3 m/s^2 |
- |
55 rad/s^2 |
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精度 |
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±0.05 μm |
- |
±0.75 arcsec |
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双向重复精度 |
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±0.03 μm |
- |
±0.35 arcsec |
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位置稳定性（3σ） |
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±15 nm |
- |
±0.08 arcsec |
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径向跳动 |
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NA |
NA |
±1.25 μm |
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轴向跳动 |
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NA |
NA |
±1.25 μm |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
Kg |
7 |
7 |
3.2 |
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最大负载 |
Kg |
2（可定制） |
2（可定制） |
2（可定制） |
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平台质量 |
Kg |
13 |
13 |
13 |
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外观尺寸 |
mm×mm |
S262×69.5（行程中间位） |
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在Z3T70产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、T轴硬限位、控制系统等选项。
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表 1 编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
