晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火
堆叠式四轴精密位移台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZT90标准模组集成在交叉十字平台L2S125模组之上，能实现X、Y、Z和T轴4自由度的高精度、高刚度运动。其中MZT90采用创新性的双轴耦合设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现Z/T轴2自由度的高精度、高刚度运动。交叉十字平台L2S125模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y 轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于L4S210，且行程处于中间位。
|
技术指标 |
单位 |
L4S210-350 |
|||
|
轴 |
|
X |
Y |
Z |
T |
|
行程 |
|
350 mm |
350 mm |
10 mm |
360°,Infinite |
|
最大速度 |
|
1 m/s |
1 m/s |
0.1 m/s |
900°/s |
|
加速度 |
|
10 m/s^2 |
10 m/s^2 |
2 m/s^2 |
6280°/s^2 |
|
精度_校准前 |
|
±10 μm |
±10 μm |
|
|
|
精度_校准后 |
|
±1 μm |
±1 μm |
0.03 μm |
±3 arcsec |
|
双向重复精度 |
|
±0.5 μm |
±0.5 μm |
±0.2 μm |
±2 arcsec |
|
位置稳定性（3σ） |
|
±2 nm* |
±2 nm* |
±15 nm* |
±0.072 arcsec |
|
直线度 |
|
±2 μm over range |
±2 μm over range |
1μm |
|
|
俯仰 |
|
±5 arcsec |
±5 arcsec |
|
|
|
横滚 |
|
±5 arcsec |
±5 arcsec |
|
|
|
偏摆 |
|
±10 arcsec |
±10 arcsec |
|
|
|
正交性 |
|
±15 arcsec |
±15 arcsec |
|
|
|
轴跳&径跳 |
|
NA |
NA |
NA |
±2 μm |
|
机械特征 |
|
|
|
|
|
|
驱动负载 （无负载） |
|
27 Kg |
45 Kg |
7 Kg |
0.00336 Kg.m^2 |
|
最大负载 |
Kg |
2（可定制） |
|
|
|
|
平台质量 |
Kg |
40（铝合金材料） |
|
|
|
|
外观尺寸 |
mm×mm×mm |
752×606×209.1（行程处于中间位） |
|
|
|
*测试数据来源于采用8μmpitch光栅尺的测试，且运动台处于主动隔振环境下。
在L4S210-350产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、导轨和控制系统等选项。 X轴底座可根据客户需求，改为大理石底座，可提供更高的定位精度。
|
表 1编码器选项 |
|
|
-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
|
-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，TTL |
|
-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
|
表 1 垂向导轨选项 |
|
|
-Gl |
高精度气浮导轨，垂向机械行程 6mm |
|
-G2 |
高精度交叉滚子导轨，垂向机械行程24mm |
|
-G3 |
高精度防蠕变交叉滚子导轨，垂向机械行程13mm |
