晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查
磁浮重力补偿垂向位移台采用紧凑扁平的轮廓尺寸设计思想。垂向采用了大行程磁浮重力补偿技术，降低垂向电机的载荷，很大程度地提高垂向运动性能和寿命。可实现高精度上下方向定位的升降，垂向可提供高刚度机械导轨和高性能气浮导轨选项，气浮导轨可提供更高精度的双向重复性能。
*接口尺寸数据来源于MZM200,且垂向处于中间位
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技术指标 |
单位 |
MZM200-10 |
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行程 |
mm |
10 |
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最大速度 |
mm/s |
100 |
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加速度 |
m/s^2 |
2 |
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精度 |
μm |
±0.5 |
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双向重复精度 |
μm |
±0.2 |
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位置稳定性（3σ） |
nm |
±15 |
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直线度 |
μm |
2 |
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俯仰 |
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100urad(21arcsec) |
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横滚 |
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100urad(21arcsec) |
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偏摆 |
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100urad(21arcsec) |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
Kg |
1.8 |
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最大负载 |
Kg |
6.2 |
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平台质量 |
Kg |
3.5 |
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外观尺寸 |
mm×mm |
S200×72 |
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平台材料 |
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航空铝，黑色阳极氧化 |
在MZM200系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、导轨等选项。
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表1行程选项 |
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-5 |
5mm行程位移平台，配置音圈电机和限位 |
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-10 |
10mm行程位移平台，配置音圈电机和限位 |
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-25 |
25mm行程位移平台，配置音圈电机和限位 |
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表2编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
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表3导轨选项 |
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-Gl |
高刚度机械导轨 |
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-G2 |
高性能气浮导轨 |
