半导体、平板显示、光纤对准
重载垂向定位台采用创新楔形机构的设计思想，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，通过高刚度导柱和高精度丝杠结构，使得平台具有非常高的定位精度、重复定位精度和大负载能力。
*接口尺寸数据来源于MZH400,且垂向处于中间位。
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技术指标 |
单位 |
MZH400-25 |
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行程 |
mm |
25 |
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最大速度 |
mm/s |
20 |
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加速度 |
mm/s^2 |
50 |
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精度 |
μm |
±1 |
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双向重复精度 |
μm |
±0.5 |
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直线度 |
μm |
±3 |
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俯仰 |
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100urad(21arcsec) |
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横滚 |
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100urad(21arcsec) |
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偏摆 |
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100urad(21arcsec) |
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正交性 |
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100urad(21arcsec) |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
Kg |
23 |
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最大负载 |
Kg |
50 |
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平台质量 |
Kg |
44 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
574.4×392.4×202 |
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平台材料 |
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航空铝，黑色阳极氧化 |
在MZH400系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器等选项。
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表1行程选项 |
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-10 |
10mm行程位移平台，配置伺服电机和限位 |
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-20 |
20mm行程位移平台，配置伺服电机和限位 |
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-30 |
30mm行程位移平台，配置伺服电机和限位 |
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表2编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
