上海隐冠半导体技术有限公司

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叠堆型压电陶瓷
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单片型压电陶瓷致动器
单片型压电陶瓷致动器
单片型压电陶瓷致动器
主要特点

  • 交流寿命10^9次     
  • 驱动电压 -20 ~ +150V
  • 微秒级响应     
  • 适用于高真空环境10^-6 Pa 
  • 亚纳米分辨率     
  • 高居里温度230°C

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主要应用

工业自动化 
生命科学 
科学研究    
半导体设备
光学调整

性能简介

单片型压电陶瓷致动器内部有很多陶瓷层及电极层,相互交叉叠堆,外部两侧印刷电极,将内部电极引出。通过精密打磨工艺,使每片压电陶瓷的高度公差优于±5μm。公司实现了从压电陶瓷粉料到致动器成品的全流通贯通,已实行批量化生产。目前产品已经在纳米级定位、精密制造、点胶阀领域中应用。

技术参数
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技术指标

单位

公差

PAA-S2-2

PAA-S3-2

PAA-S5-2

PAA-S7-2

PAA-S10-2

尺寸AxBxH

mm×mm×mm

 

2×2×2

3×3×2

5×5×2

7×7×2

10×10×2

位移*

μm

±15%

2.2

2.2

2.2

2.2

2.2

推力**

N

最大值

160

360

1000

2000

4000

电容***

nF

±15%

22

70

225

390

800

谐振频率

kHz

最大值

500

500

500

500

500

* 位移测试:驱动电压0~150V

** 推力测试:驱动电压0~150V

*** 电容测试条件:常温环境,1Vpp/ 1kHz

尺寸A*B公差为±10μm,H公差为±5μm

压电陶瓷片默认不焊接线束

可选配焊接标准线束,长度75mm,AWG32,PTFE绝缘,产品编号后加W

其他规格可根据客户需求进行定制

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