预压致动器是一种压电陶瓷叠堆的铠装设备，起到保护叠堆和方便安装的作用，同时预压致动器内部对压电陶瓷施加了预压力，可提供一定的拉力和对位移输出的调节。预压致动器可内部集成应变片实现闭环控制。
默认输出端为球头，可定制其他输出端结构。
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单位 |
公差 |
PAPL-C5-18N |
PAPL-C5-36N |
PAPL-C5-54N |
PAPL-C5-60N |
PAPL-C5-90N |
PAPL-C5-108N |
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行程@150V* |
μm |
±20% |
18 |
36 |
54 |
72 |
90 |
108 |
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电容** |
μF |
±20% |
1.5 |
3 |
4.5 |
6 |
7.5 |
9 |
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开环分辨率 |
nm |
典型值 |
0.18 |
0.36 |
0.54 |
0.72 |
0.9 |
1.08 |
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集成传感器 |
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SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
SGS |
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闭环分辨率*** |
nm |
典型值 |
0.36 |
0.72 |
1.08 |
1.44 |
1.8 |
2.16 |
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谐振频率 |
kHz |
±20% |
18 |
14 |
10 |
8.5 |
7 |
6 |
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刚度 |
N/μm |
±20% |
57 |
27 |
19 |
15 |
12 |
10 |
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推力**** |
N |
最大值 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
1000 |
|
拉力 |
N |
最大值 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
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工作电压 |
V |
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-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
-20~150 |
|
工作温度范围 |
°C |
|
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
-20~80 |
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电压接口 |
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LEMO FFA.00.250 |
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传感器接口 |
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LEMO FFA.0S.304 |
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|
|
||
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线长 |
m |
±0.02m |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
| * 空载下位移输出 |
| ** 电容测试条件：常温环境，1Vpp，1kHz |
| *** 闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器 |
| **** 推力测试：驱动电压0~150V |
| 其他规格可根据客户需求进行定制 |
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PAPL系列C5型压电预压致动器，开环版本 |
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型号 |
说明 |
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PAPL-C5-18N |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程18μm，开环 |
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PAPL-C5-36N |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程36μm，开环 |
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PAPL-C5-54N |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程54μm，开环 |
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PAPL-C5-60N |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程60μm，开环 |
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PAPL-C5-90N |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程90μm，开环 |
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PAPL-C5-108N |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程108μm，开环 |
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PAPL系列C5型压电预压致动器，应变片闭环版本 |
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型号 |
说明 |
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PAPL-C5-18S |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程18μm，应变片闭环 |
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PAPL-C5-36S |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程36μm，应变片闭环 |
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PAPL-C5-54S |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程54μm，应变片闭环 |
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PAPL-C5-60S |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程60μm，应变片闭环 |
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PAPL-C5-90S |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程90μm，应变片闭环 |
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PAPL-C5-108S |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程108μm，应变片闭环 |
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PAPL系列C5型压电预压致动器，开环、真空兼容版本 |
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型号 |
说明 |
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PAPL-C5-18NU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程18μm，开环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-36NU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程36μm，开环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-54NU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程54μm，开环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-60NU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程72μm，开环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-90NU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程90μm，开环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-108NU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程108μm，开环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL系列C5型压电预压致动器，应变片闭环、真空兼容版本 |
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型号 |
说明 |
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PAPL-C5-18SU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程18μm，应变片闭环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-36SU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程36μm，应变片闭环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-54SU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程54μm，应变片闭环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-60SU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程72μm，应变片闭环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-90SU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程90μm，应变片闭环，真空兼容至10-5Pa |
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PAPL-C5-108SU |
C5型压电陶瓷预压致动器，有效行程108μm，应变片闭环，真空兼容至10-5Pa |
