半导体、平板显示、光纤对准、生物医药等，特别适用于双面加工或者基因检测等领域
中空式平面二维精密位移台采用了XY一体化、正交性设计思想，具有超薄的轮廓尺寸和大中空的通孔尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于PLA90
|
技术指标 |
单位 |
PLA90-100 |
PLA90-200 |
PLA90-300 |
|
行程 |
mm |
±50 |
±100 |
±150 |
|
最大速度 |
m/s |
1 |
1 |
1 |
|
加速度 |
g |
1 |
1 |
1 |
|
精度 |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
双向重复精度 |
μm |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
|
直线度 |
μm |
±2 |
±2 |
±2 |
|
平面度 |
μm |
±2 |
±2 |
±2 |
|
俯仰 |
|
40urad |
50urad |
60urad |
|
横滚 |
|
30urad |
40urad |
50urad |
|
偏摆 |
|
20urad |
30urad |
40urad |
|
正交性 |
|
97urad |
97urad |
97urad |
|
机械特征 |
|
|
|
|
|
驱动质量_Upper axis |
Kg |
5.8 |
8.4 |
11 |
|
驱动质量_Lower axis |
Kg |
14.5 |
17.1 |
19.7 |
|
最大负载 |
Kg |
15 |
20 |
25 |
|
平台质量 |
Kg |
21 |
25.5 |
30 |
|
外观尺寸 |
mm×mm×mm |
380×380×90 | 380×380×90 | 430×430×90 |
|
平台材料 |
|
航空铝，黑色阳极氧化 |
|
|
在PLA90系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括行程、编码器、高精度标定等选项。
|
表1行程选项 |
|
|
-100 |
100mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
|
-200 |
200mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
|
-300 |
300mm行程位移平台，配置直线电机和限位 |
|
表2编码器选项 |
|
|
-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp |
|
-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，RS422 |
|
-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS |
