晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等
极坐标精密位移台采用高度模块化、超薄型等设计理念，实现X、Z和T轴3自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动。其中垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术，降低垂向电机的载荷，很大程度地提高垂向运动性能和寿命。
*接口尺寸数据来源于PS150，且垂向处于下限位。
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技术指标 |
单位 |
PS150-155 |
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轴 |
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X |
Z |
T |
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行程 |
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155 mm |
25 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
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400 mm/s |
40 mm/s |
900°/s |
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加速度 |
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4m/s^2 |
1m/s^2 |
6280°/s^2 |
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精度 |
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±1μm |
±0.4μm |
±3 arcsec |
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双向重复精度 |
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±0.5μm |
±0.2μm/1mm |
±2 arcsec |
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直线度 |
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6 μm |
NA |
NA |
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俯仰 |
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±20μrad |
NA |
NA |
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横滚 |
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±20μrad |
NA |
NA |
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偏摆 |
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±20μrad |
NA |
NA |
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轴向跳动 |
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NA |
NA |
±2 μm |
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径向跳动 |
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NA |
NA |
±2 μm |
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机械特征 |
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驱动负载（无负载） |
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12 |
5.4 |
NA |
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转动惯量 |
Kg•m^2 |
0.00401 |
0.00401 |
0.00401 |
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最大负载 |
Kg |
2（可定制） |
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平台质量 |
Kg |
44 |
44 |
44 |
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外观尺寸 |
mm×mm×mm |
460×362×156.4（垂向机械下限位） |
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平台材料 |
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航空铝，阳极氧化 |
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在PS150系列产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、垂向行程等选项。
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表1编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器，1Vpp,20μm Pitch |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器，TTL,20μm Pitch |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器，BISS-C,20μm Pitch |
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表 2 垂直机械行程选项 |
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-10 |
垂向机械行程10mm |
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-20 |
垂向机械行程20mm |
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-25 |
垂向机械行程25mm |
