晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等
堆叠式三维直线位移台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZM200-10标准模组集成在十字平台L2S125模组之上，能实现X、Y和Z轴3自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，MZM200-10标准模组采用了大行程磁浮重力补偿技术，具有降低垂向电机的载荷，很大程度地提高了垂向运动性能和寿命的功能，可实现高精度上下方向定位的升降。十字平台L2S125模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现水平向X/Y轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。
*接口尺寸数据来源于L3S190，且垂向处于行程最高位。
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X |
Y |
Z |
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轴 / Axes name |
X |
Y |
Z |
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行程 / Travel range |
350 mm |
350 mm |
9 mm (可定制) |
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最大速度 / Max. velocity |
0.6 m/s |
0.6 m/s |
0.1 m/s |
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加速度 / Max. acceleration |
5 m/s² |
5 m/s² |
2 m/s² |
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精度_校准前 / Accuracy_indicative value |
±20 μm |
±20 μm |
- |
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精度_校准后 / Accuracy_calibration value |
±2 μm |
±2 μm |
±0.5 μm /1 mm |
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双向重复精度 / Bidirectional repeatability |
±1 μm |
±1 μm |
±0.3μm /1mm |
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直线度 / Straightness |
±10 μm |
±10 μm |
- |
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俯仰 / Pitch |
±75 arcsec |
±50 arcsec |
±50 arcsec |
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横滚 / Roll |
- |
- |
±50 arcsec |
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偏摆 / Yaw |
±75 arcsec |
±75 arcsec |
- |
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正交性 / Orthogonality |
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5 μm |
- |
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驱动负载（无负载）/Moving mass (without payload) |
14.2 Kg |
27.5 Kg |
6.7 Kg |
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最大负载 / Max. load |
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5 Kg |
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平台质量 / Stage mass |
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40 Kg |
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外观尺寸 / Dimensions |
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734 mm×600 mm×187 mm (垂向处行程最高位) |
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在整个产品序列里，配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括编码器、高精度标定和控制系统等选项。
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表1编码器选项 |
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-S1 |
增量式模拟光学式线性编码器 |
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-S2 |
增量式数字光学式线性编码器 |
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-S3 |
绝对式光学式线性编码器 |
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表2导轨选项 |
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-Gl |
高刚度机械导轨 |
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-G2 |
高性能气浮导轨 |
