- 晶圆工艺控制应用,例如光学关键尺寸检查和薄膜计量
- 晶圆激光热处理
- 晶圆划线、清洁和切割
复合式多轴精密位移台是二维机械导轨+空气轴承复合式运动平台，可以让客户有效地享用机械导轨与空气轴承导轨各自的优点。机械导轨在XY平面的高刚性能承受较大加速度和提供高双向重复精度，而空气轴承确保全行程优异的动态平面度。
该平台采用模块化、正交性等设计理念，包含隐冠的MZT模块和复合式XY台模块。MZT模块集成在复合式XY台模块之上，能实现X、Y、Z和T 轴4自由度的高精度、高刚度直线和旋转运动。
MZT模块的垂向采用了独特的大行程磁浮重力补偿技术，降低了垂向电机的载荷，很大程度地提高了垂向运动性能和寿命。
复合式XY台模块采用驱动质心匹配、柔性龙门以及轻量化设计技术，具有降低对高精度机械导轨的偏质心冲击，提高运动系统的可靠性和寿命的能力，并具有对轻微平移Y1及Y2电机进行偏向修正功能。
该平台也可集成在隐冠的主动减振系统模块之上，进一步提高系统性能。
*接口尺寸数据来源于HS1000
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X |
Y1/Y2 |
Z |
T |
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轴 / Axes name |
X |
Y1/Y2 |
Z |
T |
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行程 / Travel range |
320 mm |
550 mm |
10 mm |
360 °, Infinite |
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最大速度 / Max. velocity |
1.2 m/s |
1.2 m/s |
0.1 m/s |
900 °/s |
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加速度 / Max. acceleration |
12 m/s² |
12 m/s² |
2 m/s² |
6280 °/s² |
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精度_校准前 / Accuracy_indicative value |
±10 μm |
±10 μm |
NA |
±30 arcsec |
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精度_校准后 / Accuracy_calibration value |
±1 μm |
±1μm |
±0.5 μm /1 mm |
±3 arcsec |
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双向重复精度 / Bidirectional repeatability |
±0.4 μm |
±0.4 μm |
±0.3 μm /1 mm |
±2 arcsec |
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位置稳定性 (3σ)/Position stability(3σ) |
±25 nm* |
±25 nm* |
±15 nm* |
±0.2 arcsec |
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直线度 / Straightness |
±2 μm over range |
±1.5 μm over range |
2 μm |
NA |
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轴向跳动 / Axial runout |
NA |
NA |
NA |
±1.5 μm |
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径向跳动 / Radial runout |
NA |
NA |
NA |
±1.5 μm |
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驱动负载 (无负载)/Moving mass (without payload) |
15 Kg |
30 Kg |
5.5 Kg |
NA |
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最大负载 / Max. load |
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2 Kg (可定制) |
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平台质量 / Stage mass |
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666 Kg |
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外观尺寸 / Dimensions |
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1040 mm×1050 mm×405.3 mm (Chuck 吸附面到大理石 157.8 mm) |
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* 测试数据来源于采用 8μm pitch 光栅尺的测试。
