多轴微动台拥有四个各自独立的自由度，包括—个旋转轴、一个垂直轴及两个摇摆和倾斜修正轴。 Z3T70模块结构非常紧凑，具备优异的定位精度和动态特性。该模块不仅能提高运动系统精度，简化设计难度，还可显著提升设备的可靠性和集成度，降低设备的复杂性和总体成本，提高性价比。其独特的磁浮重力补偿技术大幅降低了垂向执行器的发热，从而有效保障了垂向的纳米级定位精度。
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Z3T70-40 |
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Fine Z |
Tip-Tilt |
Theta |
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电机类别 |
DD |
DD |
DD |
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负载 |
2 Kg |
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驱控 |
ACS |
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环境温度 |
22±1℃ |
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行程 |
4 mm |
±0.1° |
infinite |
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驱动质量（不含吸盘） |
4 Kg |
/ |
2 Kg |
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模块质量（不含吸盘） |
10 Kg |
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最大轴向负载 |
2.2 Kg |
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最大速度 |
0.03 m/s |
- |
15 rad/s |
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最大加速度 |
0.5 m/s2 |
- |
100 rad/s2 |
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位置稳定性 |
±10 nm |
- |
±0.05 μrad |
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单向重复性 |
- |
- |
- |
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双向重复性 |
±0.05 μm |
- |
±0.5 arcsec |
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径跳 |
- |
- |
±3.5μm |
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轴跳 |
- |
- |
±3 μm |
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信号类别 |
增量式 |
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输出信号 |
TTL |
1Vpp |
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在Z3T70产品序列里，配詈了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括缩码器、T轴硬限位和控制系统等选项。
表1 编码器选项
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-S1 |
增量式模拟光学式编码器，1Vpp |
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-S2 |
增量式数字光学式编码器，RS422 |
