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压电致动器
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A5型压电预压致动器
A5型压电预压致动器
A5型压电预压致动器
主要特点

  • 1000N推力
  • 10亿次使用寿命的压电陶瓷
  • 亚纳米级分辨率
  • 结构简单,体积小巧    
  • 适用10^-5Pa及以下高真空环境

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主要应用
  • 静态和动态精密定位
  • 光纤定位调节
  • 激光调谐    
  • 微纳技术
性能简介

预压致动器是一种压电陶瓷叠堆的铠装设备,起到保护叠堆和方便安装的作用,同时预压致动器内部对压电陶瓷施加了预压力,可提供一定的拉力和对位移输出的调节。预压致动器可内部集成应变片实现闭环控制。

机械尺寸图

默认输出端为球头,可定制其他输出端结构。

技术参数
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单位

公差

PAPL-A5-36N

PAPL-A5-45N

PAPL-A5-60N

PAPL-A5-90N

行程@150V*

μm

±20%

40

50

65

100

电容**

μF

±20%

3

3.8

5

7.5

开环分辨率

nm

典型值

0.36

0.45

0.6

0.9

集成传感器

 

/

SGS

SGS

SGS

SGS

闭环分辨率***

nm

典型值

0.72

0.9

1.2

1.8

谐振频率

kHz

±20%

12

10

7

4

刚度

N/μm

±20%

20

17

12

8

推力****

N

最大值

850

850

850

850

拉力

N

最大值

150

150

150

150

工作电压

V

/

-20~150

-20~150

-20~150

-20~150

工作温度范围

°C

/

-20~80

-20~80

-20~80

-20~80

电压接口

 

/

LEMO FFA.00.250

 

 

 

传感器接口

 

/

LEMO FFA.0S.304

 

 

 

线长

m

0.50%

1.5

1.5

1.5

1.5

* 空载下位移输出
** 电容测试条件:常温环境,1Vpp,1kHz
*** 闭环参数只适用闭环版本的压电预压致动器
**** 推力测试:驱动电压0~150V
其他规格可根据客户需求进行定制
定制信息

PAPL系列A5型压电预压致动器,开环版本

型号

说明

PAPL-A5-36N

A5型压电预压致动器,有效行程40μm,开环

PAPL-A5-45N

A5型压电预压致动器,有效行程50μm,开环

PAPL-A5-60N

A5型压电预压致动器,有效行程65μm,开环

PAPL-A5-90N

A5型压电预压致动器,有效行程100μm,开环

 

PAPL系列A5型压电预压致动器,应变片闭环版本

型号

说明

PAPL-A5-36S

A5型压电预压致动器,有效行程40μm,应变片闭环

PAPL-A5-45S

A5型压电预压致动器,有效行程50μm,应变片闭环

PAPL-A5-60S

A5型压电预压致动器,有效行程65μm,应变片闭环

PAPL-A5-90S

A5型压电预压致动器,有效行程100μm,应变片闭环

 

PAPL系列A5型压电预压致动器,开环、真空兼容版本

型号

说明

PAPL-A5-36NU

A5型压电预压致动器,有效行程40μm,开环,真空兼容至10-5Pa

PAPL-A5-45NU

A5型压电预压致动器,有效行程50μm,开环,真空兼容至10-5Pa

PAPL-A5-60NU

A5型压电预压致动器,有效行程65μm,开环,真空兼容至10-5Pa

PAPL-A5-90NU

A5型压电预压致动器,有效行程100μm,开环,真空兼容至10-5Pa

 

PAPL系列A5型压电预压致动器,应变片闭环、真空兼容版本

型号

说明

PAPL-A5-36SU

A5型压电预压致动器,有效行程40μm,应变片闭环,真空兼容至10-5Pa

PAPL-A5-45SU

A5型压电预压致动器,有效行程50μm,应变片闭环,真空兼容至10-5Pa

PAPL-A5-60SU

A5型压电预压致动器,有效行程65μm,应变片闭环,真空兼容至10-5Pa

PAPL-A5-90SU

A5型压电预压致动器,有效行程100μm,应变片闭环,真空兼容至10-5Pa

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